精测电子 300567

(一)主营业务概况报告期内,公司主营业务聚焦于半导体、显示及新能源三大核心领域检测系统的研发、生产与销售。

凭借成熟可靠的整体解决方案与专业技术服务能力,深度服务于下游半导体晶圆制造厂商、显示面板制造厂商及新能源锂电池生产厂商,为客户提供全方位的量检测设备与技术支持。

(二)主要产品及用途1、半导体量检测领域公司目前在半导体领域的主营产品分为前道量检测设备、后道电测检测设备、先进封装量检测设备和核心器件等,包括膜厚量测系统、光学关键尺寸量测系统、电子束缺陷检测系统、半导体硅片应力测量设备、明场光学缺陷检测设备和自动检测设备(ATE)等,用于晶圆加工、制造、封测环节的物理参数测量与电性性能检测,是先进制程良率管控核心装备。

(3)先进封装量检测领域公司现有前道量检测设备(主要包括膜厚系列产品、OCD设备、电子束设备、明场光学缺陷检测设备等核心产品,具已全部导入先进封装产线。

2、平板显示检测设备公司目前在显示领域的主营产品涵盖LCD、OLED、Mini-LED、Micro-OLED、Micro-LED等各类显示器件的检测设备,包括信号检测系统、AOI光学检测系统、OLED调测系统、自动化装备集成产品、AI检测软件与系统以及智能和精密光学仪器等,贯穿显示面板研发、生产、老化、修复全制程,保障产线良品率。

3、新能源检测设备在新能源领域的主要产品为锂电池生产及检测设备,主要用于锂电池电芯组装配和检测环节等,包括锂电池切叠一体机、CT&XRAY无损检测机、化成分容系统、CIR组装配线、锂电池视觉检测系统和BMS检测系统等,保障锂电池生产安全性、一致性与可靠性。

1、概述报告期内,公司紧抓半导体设备国产化替代的关键窗口期,持续巩固并提升在半导体量检测领域的国内领先地位,进一步加大对先进制程领域(28nm以下)的研发投入与产品布局。

随着前期高强度研发投入逐步进入业绩兑现阶段,公司技术产业化进程全面提速,半导体领域主营产品均实现规模化量产,交付能力大幅增强,收入确认规模同比显著增长。

与此同时,公司持续优化业务结构、提升经营效率,推动半导体板块盈利能力显著改善,新签订单、营业收入、净利润均实现同比大幅增长。

在平板显示业务方面,2025年行业复苏态势持续延续,终端应用需求稳步回暖,受益于LCD大尺寸及超大尺寸产能扩张、国内头部客户G8.6代生产线投建,以及OLED领域资本开支上行,行业检测设备需求景气度持续走高。

报告期内,公司平板显示检测业务实现快速增长,叠加客户结构与产品结构的持续优化,业务毛利率明显提升,盈利能力显著增强。

在新能源业务板块方面,报告期内仍面临亏损压力与经营挑战。

此外,报告期内公司投资收益相较于去年同期进一步减少(公司联营企业湖北星辰主要布局先进封装领域,目前处于快速投入期,报告期内湖北星辰投资收益亏损4,957万元,相较于去年同期亏损同比增加64%),对公司经营业绩形成一定拖累。

后续公司将针对性优化调整整体业务结构,集中资源聚焦半导体等核心优势领域,聚力做强主业,进一步提升整体经营效益。

报告期内,公司实现营业收入334,763.76万元,同比增长30.51%;实现归属于上市公司股东的净利润8,202.07万元,成功实现扭亏为盈,归属于上市公司股东的净利润较上年同期增加17,961.92万元;报告期末公司总资产为1,165,266.23万元,较期初增长15.64%;归属于上市公司股东的净资产为434,168.15万元,较期初增加25.34%。

截至本报告披露日,公司取得在手订单金额总计约42.31亿元,其中半导体领域在手订单约25.33亿元、显示领域在手订单约9.79亿元、新能源领域在手订单约7.19亿元。

半导体领域在手订单占公司在手订单比例接近60%,半导体业务已成为公司经营业绩的核心支撑。

(一)半导体量检测业务1、前道量检测领域(含半导体量检测业务总括)当前,半导体产业正逐步进入由AI算力基础设施、先进逻辑芯片、先进封装技术与高端存储器件共同驱动的新一轮上行周期。

半导体产业上行周期的发展态势,直接带动了半导体量检测设备销售的增长。

报告期内,公司在先进逻辑和先进存储产线中多种关键量检测设备实现规模化交付。

公司所在的半导体前道量检测领域,占半导体总设备市场约13%的第四大设备门类。

根据QYResearch调研显示,2025年全球半导体检测和量测设备市场销售额达到了1,145亿元,预计2032年将达到1,415.9亿元,年复合增长率(CAGR)为3.1%(2026-2032)。

在全球半导体行业扩容的大环境下,我国市场凭借本土晶圆厂扩产与国产替代需求,展现出更快的增长速度。

现阶段,国内半导体量检测领域国产化率较低,市场主要由几家垄断全球市场的国外企业占据主导地位。

目前公司是国内半导体量检测设备领域领军企业,逐步形成在半导体检测前道制程、先进封装和后道检测及核心器件的全领域量检测技术产品布局。

报告期内,公司半导体领域订单、营收均主要来源于前道量检测领域,前道量检测领域订单、营收占半导体领域整体九成以上,后道检测等领域处于市场导入深化阶段,占公司半导体领域营收和订单的比例较低。

报告期内公司在整个半导体板块实现销售收入131,777.32万元,较上年同期增长71.60%;归母净利润11,222.06万元,成功实现扭亏为盈,归母净利润较上年同期增加14,262.68万元;公司在半导体领域毛利率为49.65%,较上年同期上升3.90个百分点。

截至本报告披露日,公司在半导体领域在手订单约25.33亿元,占公司整体订单近60%。

半导体领域已成为公司经营业绩的核心支撑。

公司半导体前道量测领域膜厚系列产品、OCD设备、电子束设备、半导体硅片应力测量设备、明场光学缺陷检测设备等核心产品均处于国内行业领先地位,其中膜厚系列产品、OCD设备、电子束设备等部分主力产品已完成7nm先进制程的交付及验收,目前更加先进制程的产品正在验证中。

报告期内,公司应用于先进制程领域(28nm以下,不含28nm)新签订单占半导体领域新签订单超六成,先进制程产品占公司整体营收和订单的比例不断增加,现已成为公司半导体前道量检测领域业绩的核心驱动力。

围绕半导体前道量检测业务布局,公司持续推进核心产品的研发与市场落地,相关产品进展如下:①Efilm系列、IM系列、Scale系列、MetaPAM系列膜厚量测设备涵盖独立式膜厚量测、集成式膜厚量测、外延层厚度量测和金属膜厚量测设备等系列,应用于逻辑、存储芯片、功率器件、先进封装制造等领域,提供大范围、高精度的膜厚量测方案。

该系列产品累计出货超400台套。

最新进展方面,面向先进制程全面迭代,部分产品已完成7nm制程产线的交付和验收。

②Eprofile系列光学关键尺寸OCD量测设备国内自主研发设计生产并率先量产应用的OCD量测的多功能型独立式光学量测设备,面向IC制造前段先进工艺及更高节点提供OCD量测方案。

该系列产品累计出货超70台套。

最新进展方面,面向先进制程全面迭代,部分产品已完成7nm制程产线的交付和验收。

③eView系列电子束缺陷检查设备基于深度学习的高准确率智能化全自动电子束缺陷检测与分类设备,具有高分辨率复查、高产能、智能缺陷检测及高准确率自动归类等功能、兼容EDX,可对晶圆表面电子束成像及缺陷进行扫描分析。

该系列产品累计出货超60台套,产品已完成7nm制程产线的交付和验收,面向更先进制程的设备正在研发中。

④eMetric系列电子束关键尺寸量测设备利用高分辨率扫描电子显微镜对光阻和刻蚀后图形进行在线式监控量测,满足包括先进制程在内的各类制程工艺的需求,实现高产率,高度自动化,稳定的图形匹配和对齐能力、Die-to-GDS定位、图形缺陷检测、复查、热点分析、显影、刻蚀工艺参数的监控。

该系列产品累计出货超20台套。

最新进展方面,产品已完成1Xnm制程产线的交付,面向更先进制程的设备正在研发中。

⑤BFI系列明场光学缺陷检测设备面向先进逻辑、存储制程的有图形晶圆缺陷检测设备,提供高灵敏度、高分辨率、高检测效率和非破坏性的缺陷检测。

该系列产品累计出货超7台套。

最新进展方面,产品已完成28nm制程产线的验收和14nm制程产线的交付(14nm制程产线目前验收等相关工作进展顺利,设备运行情况良好),面向更先进制程的设备正在研发中。

⑥TG系列硅片形貌量测设备基于双面Fizeau干涉原理的全尺寸硅片形貌纳米级测量设备,在生产过程中对大硅片质量进行精确、无损监控,用于大硅片制造企业出厂级形貌及厚度检测,已实现批量出货。

最新进展方面,产品已完成国内头部大硅片制造企业产线的交付和验收,更高产率、更高性能的下一代产品正在研发中。

⑦FIB-SEM集合了电子束高分辨表面成像和FIB优异微纳米加工能力,用于晶圆制造过程中线路修补、失效分析、TEM样品制备等,也可应用于纳米器件、微纳米结构等科研领域。

最新进展方面,离线式设备已完成客户端的交付和验收;在线式双束设备已交付客户端,正在验收。

⑧Vega系列无图形暗场缺陷检测设备面向裸硅片、二氧化硅、氮化硅、金属薄膜、粗糙镀膜表面等多类无图形晶圆检测设备,提供极高速度和高灵敏度的缺陷检测。

最新进展方面,面向28nm制程的设备已研发完成,面向更先进制程的下一代产品正在研发中。

⑨WAT先进的全通道并行晶圆电性测试设备,对完成制程工艺后的晶圆进行晶圆允收测试,精确测试电流、电阻、电容等参数,为晶圆制造排查工艺缺陷、监控参数漂移。

该系列产品已完成少量出货。

最新进展方面,已完成客户端的交付和验收;面向更先进制程、测试效率更高的下一代产品正在研发中。

2、后道电测检测领域公司聚焦ATE领域持续深耕,构建起覆盖先进存储、SOC(系统级芯片)以及第三代功率半导体的全场景测试体系,为不同领域客户提供定制化、高效可靠的系统测试解决方案。

面向先进存储芯片,可提供集成BI(Burn-In)测试、CP(ChipProbing)测试和FT(FinalTest)测试于一体的多场景测试方案,并已完成迭代升级支持UFS4.1的测试。

同时全新推出JH5520HBMBI测试系统,精准满足HBM高端存储测试需求。

面向系统级芯片,ATE自动完成对集成电路功能、性能及可靠性的测试,广泛应用于芯片的设计验证、晶圆测试(CP)和成品测试(FT)环节。

相关产品进展如下:①主要应用于存储领域BI产品线覆盖了FLASH和DRAM类,目前已适配ONFI5.0、UFS3.1/UFS4.1以及DDR4/DDR5/LPDDR4/LPDDR5等各类主流存储器件的高速老化测试,实现多家客户重复订单。

FT产品主要针对FLASH和UFS类,目前已适配ONFI5.0、UFS3.1器件,完成批量出货,UFS4.1已适配验证通过,当前公司正在配合客户开发适用于下一代高速嵌入式存储的FT设备。

CP产品目前已成功导入国内FLASH客户量产产线,并拓展到微显示(MicroLED)客户量产产线,已出货国内主要客户。

②主要应用于SOC(系统级芯片)领域主要为DDIC(显示驱动芯片),应用于该系列ATE设备已实现批量出货。

最新进展方面,面向DDIC的ATE设备已完成客户端交付和验收;SocATE正在研发中。

3、先进封装量检测领域得益于AI、高性能计算及5G/6G技术对算力密度的不断提升,以及数据中心、自动驾驶等领域对低功耗、高可靠性封装的强烈需求,先进封装技术迎来关键增长阶段。

公司于2024年3月通过投资湖北星辰深度布局半导体先进封装领域,目前湖北星辰已建成国内领先的12英寸集成电路先进封装研发线,核心工艺已全面贯通,正在进行客户导入与小批量生产,可为客户提供一站式先进封装成套解决方案。

湖北星辰已启动量产产线建设,旨在为客户提供充足产能保障。

湖北星辰对标国际领先先进封装工艺平台,持续开展技术研发与攻关,已同时具备中、高密度先进封装全套工艺技术,并在互联间距、互联密度、功耗等方面拥有领先优势,可为多类应用场景需求下不同领域客户提供产品定制化解决方案。

随着先进封装装备技术快速迭代,部分前道工艺向封装环节延伸,拉动半导体前道量检测、刻蚀、薄膜沉积、键合等设备的需求。

面对2.5D/3D等先进封装挑战,公司现有前道量检测设备(主要包括膜厚系列产品、OCD设备、电子束设备、明场光学缺陷检测设备等核心产品,已全部导入先进封装产线。

此外,公司晶圆外观检测设备主要专注于CMOS图像传感器、AR/VR、Logic、MEMS、Memory、RF、Power、FOWLP、WLCSP、Bumping、Chiplet等先进封装工艺的有图形硅晶圆和无图像玻璃晶圆检测,已完成小批量出货,目前正在积极开发面向先进制程的3D量测,并与国内头部客户进行紧密验证测试。

针对晶圆亚微米级缺陷进行检测与量测,集成高精度明暗场成像技术和专业缺陷检测算法,同时可扩展升级到晶圆Bumping及Mirco-LED3D量测,有效服务客户提升制造能力指数与生产效率,精准适配先进封装快速发展带来的复杂缺陷检测需求。

4、核心器件领域在半导体探针卡领域,公司已实现从基础探针到完整探针卡的核心突破,现已开发悬臂探针卡、2DMEMS探针卡、2.5DMEMS探针卡、WAT探针卡系列等,全面覆盖显示驱动芯片测试、存储芯片测试、国产GPU与AI芯片测试等应用场景,相关产品已实现关键工序自动化量产交付,能够满足不同类型芯片的测试需求,并且可以根据不同芯片的设计和测试要求进行定制,以满足客户的个性化需求。

其中,2DMEMS垂直探针卡已批量生产,并交付客户;高频悬臂探针卡已在国内头部设计公司完成验证并批量使用。

未来,公司将继续坚持以自主创新为核心、以产学研合作为两翼,深耕集成电路领域,持续加大半导体领域研发投入,特别在先进制程设备研发力度,扩展现有核心装备工艺覆盖率,探索新技术领域的产品开发,助力行业向高端化、高质量发展转型,不断推进、引领半导体检测设备国产替代化进程。

(二)平板显示检测业务公司是国内平板显示检测设备领域的龙头企业,在全球显示检测行业处于第一梯队。

公司产品覆盖LCD、OLED、MicroOLED、Mini/Micro-LED全制程检测设备,国内市场占有率领先,深度配套京东方、TCL华星光电、天马微电子、莱宝高科、维信诺、和辉光电、OPPO、惠科股份、视涯股份、显耀显示等国内主流面板厂商,以及三星、LG、Apple、Meta等海外头部客户。

报告期内,受益于消费领域头部客户IT类产品逐步使用OLED屏幕带来的行业风向标,国内龙头企业京东方、TCL华星光电、维信诺G8.6OLED项目的投建,LCD大尺寸、超大尺寸扩线投资需求以及公司产品竞争力的进一步提升等多重因素叠加影响,公司在显示领域实现营业收入175,475.53万元,相较于去年同比增长10.31%;实现归母净利润20,629.20万元,相较于去年同比增长223.46%;公司在显示领域毛利率为46.31%,较上年同期上升7.95个百分点。

截至本报告披露日,公司在显示领域在手订单约9.79亿元。

报告期内公司在新型显示以及智能和精密光学仪器领域取得明显进展,深度集成显示颜色测量技术、图像均匀性校准技术、高速数据处理技术、电性测试技术等核心能力,自研多款高端精密检测仪器,实现从传统显示到新型显示产线与实验室的全领域、全应用、全场景量检测服务覆盖。

推出多点光谱增强色度计、多视角光谱测量仪、近眼显示高精度光谱仪、近眼显示色度计、近眼显示成像式光谱仪等智能光学仪器产品,攻克视角测量光谱偏移导致测量误差、多分区测量光谱失配等行业痛点,实现产品亮色度、光谱数据、视角、Gamma调测、颜色均一性等测量,并系统展示多款精密光学/电学仪器,为复杂环境下的检测提供高效可靠的解决方案。

现阶段部分精密光学/电学仪器已实现较大规模的销售,未来将对显示领域的快速发展提供重要的支撑。

报告期内,公司深耕AR/VR领域,聚焦海外头部客户核心需求,依托精密仪器至光学检测系统全链条自主开发能力,构建起一站式全流程检测服务体系,为海外头部客户提供定制化、高可靠性的检测解决方案。

公司凭借自主研发的核心技术优势,在海外Top客户的VR项目MicroOLED微显示、AR项目DisplayEngine光引擎、Eyepiece目镜模组及FATP整机组装制程检测等关键环节检测项目中深度合作,持续收获订单,彰显一站式自主服务核心竞争力,进一步巩固海外AR/VR检测领域市场地位,为业务全球化布局奠定坚实基础。

当前,Micro-LED、Micro-OLED等新型显示技术持续突破,面板显示产业迎来新一轮技术革新,并以此为核心动能,有力推动AR/VR显示终端加速迭代与场景落地,全制程、高精度、高效率检测解决方案成为产业核心需求。

未来,公司在巩固LCD现有存量市场产线升级优势的同时,紧紧把握OLED带来的行业风向标、重点布局OLED新增产线投资机会,积极挖掘传统面板领域向前道延伸、智能升级及精密光学仪器的市场潜力,同时将持续加大新型显示量检测领域的研发投入,聚焦Micro-LED、Micro-OLED、AR/VR等新型显示前沿方向,不断突破高精度、高效率、高稳定性的检测技术瓶颈,深化产业链合作,以领先的制程检测和良率管理持续为显示产业发展赋能,助力全球显示产业迈向更高质量、更快速的发展新征程。

(三)新能源检测业务现阶段,公司在新能源领域的主要产品为锂电池生产及检测设备,主要用于锂电池电芯组装配和检测环节等,包括锂电池切叠一体机、CT&XRAY无损检测机、化成分容系统、CIR组装配线、锂电池视觉检测系统和BMS检测系统等。

报告期内,公司进一步加强与核心战略客户在锂电设备领域的深度合作,共同研发迭代产品,提升双方产业竞争力;同时,公司通过加强人员培训,优化调整组织结构及流程提升内生动力等多种举措,进一步提升公司核心竞争力。

此外,公司正积极开拓与国内外知名电池厂商的合作关系,特别是海外核心客户的合作关系。

报告期内,公司新能源业务仍面临亏损的压力与挑战,新能源领域实现销售收入16,883.13万元,较上年同比增长1.09%;归母净利润亏损8,586.25万元,相较于去年同期亏损同比增加50.29%;公司在新能源领域毛利率为27.41%,较上年同期下降3.40个百分点。

针对新能源领域持续亏损的不利局面,公司持续优化业务结构,并对管理团队进行调整,已取得积极效果,截至本报告披露日,公司在新能源领域在手订单约7.19亿元。

(四)研发投入与技术成果报告期内,公司继续保持研发投入强度,研发投入81,185.91万元,较上年同期增长11.12%,占营业收入24.25%。

其中,半导体量检测领域研发投入46,547.73万元,较上年增长30.03%;显示检测领域研发投入30,974.84万元,较上年下降1.76%;新能源领域研发投入3,663.35万元,较上年下降36.13%。

截至2025年12月31日,公司已取得2,627项专利(其中1,239项发明专利,983项实用新型专利、405项外观设计)、396项软件著作权、34项软件产品登记证书、92项商标(其中国际商标26项)。

(五)投资者关系管理公司始终以合规经营、透明治理为核心经营理念,凭借规范管理与严谨作风,已连续三年在深圳证券交易所信息披露考核中斩获A级佳绩,这既是监管机构的高度认可,也是公司坚守资本市场诚信底线、践行上市公司责任的生动体现。

报告期内,公司传承优良作风,强化全员合规意识,提升业务能力,严格履行信息披露义务,确保披露信息真实、准确、完整、及时、公平,筑牢信息披露工作根基。

在做好信息披露工作的基础上,公司高度重视投资者关系管理,坚持以投资者为中心,搭建多维度沟通桥梁。

在遵守信息披露规定的前提下,公司及时回复互动易投资者提问、常态化举办机构交流会及业绩说明会、保持投资者关系电话畅通,全力保障沟通畅通。

此举不仅提升了公司运作透明度与公信力,切实履行了上市公司责任,维护了良好资本市场形象,更深化了与投资者的信任联结,为公司持续健康发展凝聚了市场力量。

(一)2026年度经营计划1、加强技术及产品研发突破2026年,公司将进一步聚焦半导体等优势领域,不断加大对先进制程领域(28nm及以下)的研发投入,积极推进明场光学缺陷检测设备、无图形暗场缺陷检测设备、有图形暗场缺陷检测设备等先进制程新产品的研发布局。

同时,公司于2026年4月26日召开第五董事会第十二次会议,审议通过《关于受让控股子公司少数股东股权暨关联交易的议案》,同意公司进一步提升半导体领域核心资产上海精积微持股比例,通过受让上海精积微少数股东股权提高持股比例,深化对半导体量检测业务板块的整合与管理,更好地实现协同效应,推动半导体业务板块的规模快速增长。

在平板显示领域巩固已有技术优势,进一步加大对新型显示以及智能和精密光学仪器领域的研发投入,积极向上下游领域进行延展,保持竞争力;在新能源领域,公司持续优化业务结构,并对管理团队进行调整,依托产品技术创新突破,推动新能源板块协同发展。

2、加强人才梯队建设,丰富人才激励手段2026年,公司将进一步健全多层次薪酬与激励体系,持续丰富人才激励举措,吸引更多优秀人才加盟,与公司同心共进、携手成长。

同时,持续完善人才引进、培养、使用与退出全流程管理机制,重点聚焦高端创新人才引进与基础岗位员工能力提升,夯实人才发展根基。

一方面,通过健全考核评价与激励约束体系,充分激发员工干事热情与主人翁意识,持续提升人力资源对企业高质量发展的支撑效能;另一方面,面向高端技术人才与基础岗位员工开展分层分类培养培训,着力强化研发创新核心竞争力,夯实科技创新人才梯队储备,为公司可持续发展提供坚实可靠的人力资源保障。

3、进一步提升企业经营管理能力公司管理层具有丰富的行业经验,能够基于公司实际情况和行业发展动向制定符合公司持续发展的战略规划,以丰富的运营经验和优秀的管理技能制定和执行合理的生产经营决策。

未来,公司将持续优化薪酬福利体系与员工职业发展通道,着力打造专业化、年轻化的管理梯队,不断引进高素质专业人才,为公司持续稳健、快速发展提供坚实保障。

4、进一步加强投资者关系管理工作,维护公司良好市场形象投资者关系管理是上市公司治理的重要组成部分,亦是衡量上市公司高质量发展的重要因素。

公司董事会将继续严格按照《公司法》《证券法》《深圳证券交易所创业板股票上市规则》等法律、法规、规范性文件的有关要求,切实履行信息披露义务,依法保障投资者知情权、参与权等合法权益,积极维护公司与投资者良好互动关系,持续提升信息披露质量与公司透明度,不断增强上市公司可持续发展能力与内在价值,维护公司良好的资本市场形象。